Les deuxPompe à vide et compresseursont des dispositifs de traitement du gaz, mais leurs principes de travail et leur portée d'application sont différents.
La fonction principale de la pompe à vide est de retirer le gaz de la chambre de réaction pour réduire la pression dans le récipient pour obtenir un degré de vide prédéterminé. Le gaz est extrait de l'espace à travers le mécanisme d'aspiration et d'échappement pour former un état de vide. Les pompes à vide sont généralement utilisées dans les laboratoires, les champs de production et de fabrication. Dans les Fabs de plaquettes, l'équipement de gravure, l'équipement de dépôt, l'équipement de lithographie EUV, l'équipement d'implantation ionique, l'équipement de détection et de caractérisation, etc. Tous doivent être aspirés.
La fonction du compresseur est d'inhaler le gaz et de la comprimer, d'augmenter la pression du gaz, de comprimer le gaz en un plus petit volume et d'augmenter la densité et la pression du gaz. Son principe de travail est de comprimer le gaz à travers la soupape d'échappement, puis de mettre le gaz comprimé dans un réservoir de gaz ou un autre équipement. Les compresseurs sont généralement utilisés dans les champs de transformation et de fabrication. Le gaz CDA dont nous parlons souvent est fourni par le compresseur. Le CDA est utilisé pour contrôler divers équipements et vannes d'automatisation. Pour la fabrication de semi-conducteurs, l'ADC doit être très pur et sèche. La sortie d'air par le compresseur doit passer à travers un système de filtration sophistiqué pour éliminer l'huile, l'humidité et d'autres particules pour s'assurer qu'il n'y a pas de contamination de la tranche.
Quelles sont les catégories dePompe à vide et compresseur?
Dans l'équipement semi-conducteur, les pompes sèches et les pompes moléculaires sont couramment utilisées. Une pompe sèche fait référence à une pompe à vide qui n'utilise aucun liquide comme milieu d'étanchéité ou de refroidissement, en évitant le problème de la contamination par la vapeur d'huile. Il est généralement utilisé pour l'extraction de vide rugueuse de l'équipement semi-conducteur. Les pompes moléculaires peuvent atteindre des niveaux de vide extrêmement élevés. Les pompes sèches et les pompes moléculaires sont souvent utilisées en combinaison dans un équipement semi-conducteur pour répondre aux besoins de différents niveaux de vide.
Les compresseurs peuvent être divisés en piston, vis, centrifuge, compresseurs d'air de palet rotatif, etc.
En raison des différentes conceptions et des principes de travail de la pompe à vide et du compresseur, les pompes à vide ne peuvent généralement pas remplacer les compresseurs. Bien que les pompes à vide puissent réduire la pression et la densité des gaz, elles ne peuvent pas comprimer les gaz en volumes plus petits et des pressions plus élevées. De plus, en raison des performances limitées et des caractéristiques de travail des pompes à vide, elles sont les mieux adaptées à la gestion des gaz à basse densité et des environnements à basse pression.
Par conséquent, si le gaz doit être comprimé dans un volume plus petit et une pression plus élevée, un compresseur doit être utilisé. Au contraire, si le gaz doit être extrait et un état d'aspiration se forme, une pompe à vide doit être utilisée.
Bien que les deuxPompe à vide et compresseursont des appareils utilisés pour traiter le gaz, il existe de grandes différences dans la conception et le principe de travail. Bien que la pompe à vide puisse réduire la pression et la densité du gaz, elle ne peut pas remplacer le compresseur, en particulier lorsque le gaz doit être comprimé en un volume plus petit et une pression plus élevée.
